Cảm biến Nitrogen Trifluoride (NF3) SENKO NDIR là cảm biến khí hồng ngoại không tán xạ (NDIR) hiệu suất cao, được thiết kế chuyên biệt cho việc giám sát và phát hiện chính xác khí NF₃ trong các môi trường sản xuất công nghệ cao, đặc biệt là ngành công nghiệp bán dẫn. Cảm biến sở hữu độ ổn định lâu dài, khả năng chọn lọc vượt trội và hầu như không bị nhiễu chéo bởi các dung môi và hóa chất phổ biến như IPA, ethanol hay Galden. Với dải đo từ 0 đến 50 ppm, độ phân giải 1 ppm và thời gian đáp ứng nhanh (T₆₂.₅ < 20 giây), cảm biến đảm bảo phát hiện rò rỉ khí kịp thời và đáng tin cậy. Tuổi thọ hoạt động trên 24 tháng, giới hạn phát hiện thấp 4 ppm cùng các ngưỡng cảnh báo cài đặt sẵn giúp nâng cao mức độ an toàn cho hệ thống và con người. Cảm biến được tối ưu để tích hợp với các thiết bị dòng SENKO SI-H100, hoạt động ổn định trong điều kiện nhiệt độ từ 10℃ đến 40℃ và độ ẩm lên đến 90% RH (không ngưng tụ), đáp ứng tốt các yêu cầu nghiêm ngặt về an toàn và kiểm soát quy trình trong nhà máy bán dẫn và các ứng dụng công nghiệp quan trọng.
Tính năng Cảm biến Nitrogen Trifluoride (NF3) SENKO NDIR
- Phát hiện chính xác khí Nitrogen Trifluoride (NF₃) bằng công nghệ hồng ngoại không tán xạ (NDIR)
- Dải đo rộng từ 0 đến 50 ppm, phù hợp cho giám sát an toàn trong môi trường công nghiệp
- Thời gian đáp ứng nhanh (T₆₂.₅ < 20 giây) giúp phát hiện rò rỉ kịp thời
- Độ ổn định cao và độ tin cậy lâu dài trong quá trình vận hành liên tục
- Độ chọn lọc vượt trội, không bị nhiễu chéo bởi IPA, ethanol hoặc Galden
- Giới hạn phát hiện thấp (LDL 4 ppm) cho khả năng cảnh báo sớm
- Độ phân giải 1 ppm, đảm bảo kết quả đo rõ ràng và chính xác
- Tuổi thọ cảm biến trên 24 tháng, giảm chi phí bảo trì và thay thế
- Ngưỡng cảnh báo cài đặt sẵn 10 ppm và 20 ppm
- Tối ưu để tích hợp với các thiết bị dòng SENKO SI-H100
- Hoạt động ổn định trong điều kiện nhiệt độ 10–40℃ và độ ẩm đến 90% RH (không ngưng tụ)
